[더테크 뉴스]   티로보틱스가 진공 챔버에서 기판 이송 로봇과 관련한 기술의 특허권을 취득했다고 밝혔다. 29일 차세대 OLED 공정장비에 대응가능한 ‘주행축 추가 이송로봇’을 세계 최초로 개발하고 국내 특허 등록을 완료했다.

티로보틱스는 이 기술을 8.5세대 OLED 진공 로봇 경쟁력 강화에 활용할 계획이라고 밝혔다.

이번에 특허를 취득한 기술의 명칭은 ‘진공 챔버에서 기판을 이송하기 위한 기판 이송 로봇과 ‘기판 이송 로봇을 진공 챔버 내에서 주행하기 위한 주행 로봇’이다.

티로보틱스 관계자는 “OLED가 대형화 될수록 기존의 8각형 챔버형태의 공정장비 배치는 공정효율면에서 불리하게 된다”며 “이에 4각형 일렬형태의 배치가 대안으로 떠오르고 있는데, 이 경우에는 장거리 작업이 가능한 이송로봇이 필수적”이라고 밝혔다.

안승욱 티로보틱스 대표는 "이번에 특허 등록한 기술이 적용된 진공이송로봇은 투자를 준비하고 있는 OLED 6세대는 물론 향후 투자가 예상되는 8세대에도 업계에 새로운 대안이 될 것"이라며 "이러한 기술은 반도체나 마이크로 OLED 등 여러 분야에 다양하게 응용될 전망"이라고 밝혔다.