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아이지, 반도체 플라즈마 응용 실습 장비 개발

[더테크 이지영 기자] 아이지가 반도체 플라즈마 공정에 대한 전반적인 요소기술을 실습할 수 있는 반도체 플라즈마 응용 실습 장비 개발에 성공해 본격적인 공급에 나섰다고 23일 밝혔다. 반도체 제조 라인에서 플라즈마 공정이 중요한 역할을 하는 만큼 반도체 공정 교육 실습 현장에서 플라즈마 응용 실습은 빼놓을 수 없는 과제다. 반도체 제조 공정에서 플라즈마는 증착, 식각, 세정, 이온 임플란트 공정과 함께 포토 공정 중 EUV 발생 등에 사용된다. 전자기장을 통해 제어 가능한 기체 구조를 지닌 플라즈마는 적은 에너지 투입으로도 빠르게 화학반응을 진행할 수 있다. 또한 양이온, 음이온, 라디칼, 원자, 분자 등 다양한 입자로 이뤄져 있어 새로운 화학 반응이나 더 빠른 화학 반응을 유도할 수 있다. 아이지 관계자는 "플라즈마의 이러한 특성은 반도체 기술 발전에 따른 더 높은 수준의 공정을 구현하는 데 활용되고 있다"면서며 "앞으로도 반도체 제조에서 플라즈마 공정의 활용 범위는 더 넓어질 것으로 기대된다"고 말했다. 아이지가 이번에 개발한 반도체 플라즈마 응용 실습 장비는 공정 설계와 함께 제어 실습까지 가능한 교육 장비다. 반도체 플라즈마 공정의 제어 및 분해 조립

이지영 기자

2024-09-23 09:42

[2023 로보월드] ‘스마트팩토리’ 전문기업의 ‘서비스 로봇’은?

국내‧외 로봇의 현재를 바라볼 수 있는 ‘2023 로보월드’가 진행되고 있습니다. ‘블루오션 테크미디어’ <더테크>는 경기도 일산 킨텍스 로보월드 현장을 찾아 참가 기업들의 목소리, 그리고 이들 기업의 다양한 기술과 제품들을 독자여러분께 소개하고자 합니다. 이를 통해 국내 로봇 산업의 미래를 조망해 보시기 바랍니다. [더테크=문용필 기자] 아이지는 본래 스마트팩토리에 특화된 회사다. 제조와 설계, 그리고 교육서비스까지 제공한다. 반도체 센서 응용 실습장비까지 만드는 회사이니 다재다능하다고 볼 수 있다. 아이지는 로봇 기업이기도 하다. 산업용 로봇과 협동로봇, 자율주행 로봇 등의 핵심 솔루션을 활용해 산업현장에서 자동화 솔루션과 로봇 활용 공정 개선사업에 나서고 있고 로봇인력 양성을 위한 다양한 교육 시스템도 공급하고 있다. 즉, 하드웨어와 소프트웨어가 ‘모두 되는’ 기업이라는 이야기다. 이런 아이지가 ‘2023 로보월드’에서 선보인 제품은 뜻밖에도 서빙 로봇과 물류 로봇, 청소 로봇과 안내 로봇 등 서비스 로봇이다. 부스에서 만난 회사 관계자는 “최근 서비스 로봇 분야를 시작하면서 로보월드에 참여하게 됐다”며 “이제 막 (서비스 로봇을