[더테크 이지영 기자]  아이지가 반도체 플라즈마 공정에 대한 전반적인 요소기술을 실습할 수 있는 반도체 플라즈마 응용 실습 장비 개발에 성공해 본격적인 공급에 나섰다고 23일 밝혔다.

반도체 제조 라인에서 플라즈마 공정이 중요한 역할을 하는 만큼 반도체 공정 교육 실습 현장에서 플라즈마 응용 실습은 빼놓을 수 없는 과제다.

반도체 제조 공정에서 플라즈마는 증착, 식각, 세정, 이온 임플란트 공정과 함께 포토 공정 중 EUV 발생 등에 사용된다. 전자기장을 통해 제어 가능한 기체 구조를 지닌 플라즈마는 적은 에너지 투입으로도 빠르게 화학반응을 진행할 수 있다. 또한 양이온, 음이온, 라디칼, 원자, 분자 등 다양한 입자로 이뤄져 있어 새로운 화학 반응이나 더 빠른 화학 반응을 유도할 수 있다.

아이지 관계자는 "플라즈마의 이러한 특성은 반도체 기술 발전에 따른 더 높은 수준의 공정을 구현하는 데 활용되고 있다"면서며 "앞으로도 반도체 제조에서 플라즈마 공정의 활용 범위는 더 넓어질 것으로 기대된다"고 말했다. 

아이지가 이번에 개발한 반도체 플라즈마 응용 실습 장비는 공정 설계와 함께 제어 실습까지 가능한 교육 장비다. 반도체 플라즈마 공정의 제어 및 분해 조립, 레시피 제어, 테스트 등 다양한 운영 실습을 지원한다.

아이지의 반도체 플라즈마 응용 실습 장비는 반도체 플라즈마 공정의 프로세스 장치를 제어하는 컨트롤 솔루션을 제공하며, 제어 소프트웨어 솔루션 및 제어기를 지원하고, 반도체 구성 모듈(RF Generator, Throttle Valve 등)과의 EtherNET 및 RS-232 통신 제어가 가능하다.

또한 공정에서 취득한 데이터를 저장 및 관리하는 데이터 서버와 연계해 운용할 수 있으며, 리얼 시스템과 가상 시스템을 상호 연계한 운용도 지원한다.

특히 아이지는 해당 장비를 한국반도체산업협회에서 운영하는 교육과정에 활용되도록 함으로써 현장형 반도체 인재를 양성하는데 크게 기여하고 있다.

이외에도 아이지는 반도체 8대 공정 실습 장비를 공급해 전문대학교 및 직업대학교, 반도체 마이스터고 등에 교육과정을 안내하고 교원 및 학생 연수를 진행하고 있다.